【西电影像】714带你走进宽带隙半导体实验室

前言:在西电,穿过长长的教学楼道,你看到的实验室还是电脑和仪器的标准配备吗?你印象中的实验室还是电路与药品的默契传统吗?或许,在你还不知道的东大楼,早已伫立起一座神秘的“科技园林”,里面白衣翩翩的不是文人墨客,全副武装的不是铁汉军人,中流砥柱的不是电装金工。今天,请跟随党委宣传部714影像工作室摄影师镜头,带你解密这座神秘面纱下的宽带隙半导体技术国家重点学科实验室。

所在位置:西安电子科技大学北校区东大楼

拍摄时间:2016年3月16日

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任何人进入实验室之前都要进行“除尘”,以确保实验室空气的纯净性


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进入实验室之前要换上实验室规定的服装


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进入实验室有着严格的规章制度,除了眼睛,其余大部分皮肤都不允许直接暴露在空气中


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实验前,老师、学生们要进行严格周密的设备调整


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清洗硅片,即有选择的从硅片表面上去除不需要的材料


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实验室“高大上”的退火炉


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实验室的韩根全教授、张春福教授正在耐心给同学们讲解退火炉使用方法


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丁瑞雪副教授在指导同学们实践氧化工艺


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氧化工艺必不可少的氧化炉


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氧化工艺是一种在硅片表面生长二氧化硅薄膜的技术。通过硅在高温下与含氧物质反应生成二氧化硅


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李跃进教授正在指导同学们学习实验室光刻技术


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光刻技术是一种微细加工技术。通过涂胶、系列曝光、显影等工序,将掩模版上设计好的图形按一定顺序转移到硅片上,实现硅片表面的三维图形


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光刻的重要指标之一是分辨率,李跃进教授他们往往要通过一系列精密技术来提高光刻图形的分辨率


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井然有序、一尘不染的实验室内景


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实验室外景全貌

实验室小贴士:

1.实验室为什么高大上?

张春福教授:该实验室是微电子的标准实验室,对灰尘的控制十分严格,为控制灰尘的含量,实验室被设计成一个封闭的空间,实验室中的空气都是经过空气压缩、过滤,然后进入实验室的。进入实验室后,所有的操作者都必须按照一定的规程,以保证微电子对“微””小”的精细要求。

韩根全教授:首先,实验环境利于学生充分进行科学研究,在实践中巩固他们的基础知识。其次,利用这些高精尖的设备可以拓新器件的设备工艺、方法和理论,支持学生探索国际前沿的科研成果。最后,实验室的学生负责化管理,可以强化学生在实验室管理方面的能力和意识。

2.如果重新选择,你还会来吗?

彭芮之:当然了。这里的老师都特别有耐心,可以从实践出发学到很多知识,特别开心可以和老师、同学们一起进步。

杨景成:我们都为此付出了很多努力,每天、每周都要进行常规的例行检查和维护,在这个高大上的实验环境中,通过实验做出成果,对我们来说是一种鼓舞,激励我们做出更好的成果。

张译:一周有六天都在实验室,每天早上8点到晚上11点,除了吃饭和休息大多数时间都是在实验室、办公室度过的。我们平时的日常就是在总结别人的基础上,创新规划自己的实验,这是非常有意义的。

张少航:虽然有时会感到枯燥和疲惫,但是当实验结果出来的时候,就会觉得一切付出都是值得的,在这里会让我觉得很满足、很自豪。